中电科45所两项课题通过验收

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日前，记者从中电科45所了解到，由该所承担的两个*科技重大专项课题“300mm硅片单面抛光机(CMP)的开发”和“300mm硅片多线切割机的开发” 一并以较高的医生评分通过验收。

据了解，“300mm硅片单面抛光机(CMP)的开发”和“300mm硅片多线切割机的开发”是&ld武汉看癫痫病医院quo;硅材料设备应用工程”项目（含7个课题）中的其中两个项目。从2009年1月至2012年12月，面向90-65nm极大规模集成电路用硅单晶切割及抛光需求，在课题负责人带领下，经过课题组全体人员辛勤工作，完成了课题的全部任务，达到合同目标要武汉治疗癫痫病哪里好求，完成300mm单面抛光机CMP和300mm硅片多线切割机的研制，并郑州军海脑病医院靠谱吗在300mm硅材料制造企业关键加工设备应用工程平台使用。通过300哈尔滨很好的癫痫病医院mm硅材料加工环境下的设备工艺试验验证，促使设备功能完善和加工水平提升，达到300mm硅材料加工要求，推动研发成果进入300mm硅材料规模化生产线应用。

项目完成时，300mm硅片单面抛光机(CMP)申报20项专利，其中11项国内发明专利，6项发明专利已授权，3项国际发明专利进入受理阶段，6项实用新型专利全部授权；300mm硅片多线切割机申报12项专利，其中9项国内发明专利，4项发明专利已授权，1项国际发明专利已进入受理阶段，2项实用新型专利全部授权。（记者 李惠欣）